半导体深紫外激光光源技术北京市重点实验室是由北京航空航天大学牵头，与中国科学院理化技术研究所、北京博视像元科技有限公司联合共建的省部级科研平台，于2026年5月获北京市科学技术委员会、中关村科技园区管理委员会批准设立。实验室面向集成电路制造晶圆检测、深紫外光谱和量子科技等尖端装备对长寿命、高可靠性极紫外激光光源的迫切需求，聚焦半导体增益镜片技术、宽光谱激光等离子体光源技术，开展半导体增益材料、大尺寸高质量非线性频率变换晶体、周期性极化铌酸锂材料研究，以及深紫外半导体激光器失效机理与高效散热、光源整形与系统集成技术研究，致力于打通从实验室样机到商业化产品的转化通道，产业定位明确指向半导体前道晶圆缺陷检测设备与光刻掩膜板检测装备的规模化应用，旨在为我国半导体装备产业链安全提供稳定可靠的深紫外光源新的解决方案，加速高端装备国产替代进程。